翰墨信息港摘要：东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成……
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